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수평공진형 다결정실리콘 미소액추에이터의 설계, 제작 및 시험
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  • 수평공진형 다결정실리콘 미소액추에이터의 설계, 제작 및 시험
저자명
조영호,Jo. Yeong-Ho
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
1996년|20권 5호|pp.1363-1371 (9 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents the design, fabrication, and testing of polysilicon electrostatic microactuators that resonate in the direction parallel to the silicon susbstrates. A set of six different designs has been developed using a theoretical model and design formulae developed for the mocroactuators. Microactuator prototypes are fabricated from a 2.1 $mu{m}$-thick LPCVD polysilicon film, using a 4-mask surface-micromachining process. The prototypes are tested under a d.c. bias voltage of 45V with an a.c. drive voltage amplitude of 20 v.Measured resorant frequencies are in the ranges of 40-60 kHz, showing a good agreement to their theoretical estimates within error bounds of .$pm$.5%. Important issues inthe design and microfabrication of the microactuators are discussed, together with potential applicaitons of the key technology involved.