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MEMS 구동기를 이용한 마이크로 주사거울의 고유주파수 튜닝
이재익, 박선우, 김종백, Lee. Jae-Ik, Park. Sunwoo, Kim. Jongbaeg 정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 4 Pages
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 2014, Vol.10 No.1 23-26 (4 pages)
MEMS 구동기를 이용한 마이크로 주사거울의 고유주파수 튜닝
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