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A Self-Learning Method for Automatic Alignment in Wafer Processing
Kim. Hyung-Tae, Lee. Kang-Won, Yang. Hae-Jeong, Kim. Sung-Chul 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 7 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2013, Vol.14 No.2 215-221 (7 pages)
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Optimization of rapid thermal processing for uniform temperature distribution on wafer surface
Oh. Hyuck-Keun, Kang. Sae-Byul, Choi. Young-Ki, Lee. Joon-Sik 대한기계학회 Journal of mechanical science and technology 9 Pages
대한기계학회 Journal of mechanical science and technology 2009, Vol.23 No.6 1544-1552 (9 pages)
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반도체 무인화 제조공정을 위한 Wafer Handling 자동화기술의 현황
고명삼 대한전기학회 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 8 Pages
대한전기학회 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 1990, Vol.39 No.6 6-13 (8 pages)
약 70%를차지하는 wafer의 반송에서 flexibility를 갖고 고속위치 결정이 가능한 로보트가 필요하게 되었으며, 핵융합로의 유지용 로보트가 필요하게 되었으며, 핵융합로의 유지용 로보트 및 우주공간에서 운전되는 로보트등 청정진공형 로보트에 대한 기대가 높아지고 있다. 본 강연에서는 미국 및 일본 등지에서 wafer자동반송장치로 현재 개발되었거나 혹은 개발중인 자동화장치 기술에 관한 주요한 몇가지 점을 소개하였다. 반도체 산업이 수출의 주요산업으로 등장하고 있는 이때 반도체 제조공정의 자동화기술의 확보는 매우 시급한... -
Microwave heating of carbon-based solid materials
Teawon Kim, Jaegeun Lee, Kun Hong Lee 한국탄소학회 Carbon Letters 10 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2014, Vol.15 No.1 2 15-24 (10 pages)
As a part of the electromagnetic spectrum, microwaves heat materials fast and efficiently via direct energy transfer, while conventional heating methods rely on conduction and convection. To date, the use of microwave heating in the research of carbon-based materials has been mainly limited to liquid solutions. However, more rapid and efficient heating is possible in electron-rich solid materials, because the target materials absorb the energy of microwaves effectively and exclusively.... -
Graphene growth from polymers
Hong-Kyu Seo, Tae-Woo Lee 한국탄소학회 Carbon Letters 7 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2013, Vol.14 No.3 2 145-151 (7 pages)
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Fabrication and Applications of Carbon Nanotube Fibers
Hungo Choo, Yeonsu Jung, Youngjin Jeong, Hwan Chul Kim, Bon-Cheol Ku 한국탄소학회 Carbon Letters 14 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2012, Vol.13 No.4 1 191-204 (14 pages)
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나노입자 제거용 Far Field 메가소닉 개발
이양래, 김현세, 임의수, Lee. Yanglae, Kim. Hyunse, Lim. Euisu 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 9 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2013, Vol.30 No.11 1193-1201 (9 pages)
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폴리이미드형 8인치 정전기척의 제조
조남인, 박순규, 설용태 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체장비학회지 5 Pages
한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체장비학회지 2002, Vol.1 No.1 9-13 (5 pages)
