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촉매 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 합성 및 특성 연구
윤형석, 류호진, 조태환, 장호정, 김정식, 이내성 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 6 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2001, Vol.8 No.1 13-18 (6 pages)
본 연구에서 RF 플라즈마를 이용한 촉매 화학기상증착법에 의하여 탄소나노튜브를 성장시켰다. 탄소나노튜브는 Ni이 증착된 강화 유리 기판위에 $600^{circ}C$ 이하의 공정 온도에서 성장되었으며, 성장시 성장 온도와 에칭 시간 그리고 Ni 층의 두메에 따라 탄소나노튜브 성장 특성이 다양하게 나타났다. Ni이 증착된 강화 유리기판위에 탄소나노튜브를 성장시키기 위하여 에칭 가스로는 $H_2$와 $NH_3$가스를 사용하였고, 탄소 원료로 $C_2H_2$가스를 사용하였다. 수직 배향된 탄소나노튜브의 직경과 길이는 약 150 nm와 3 $mu... -
RF 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 합성
이상희, 이덕출 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 1998, Vol.11 No.7 552-556 (5 pages)
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플라즈마 폴리머의 물리적, 전기적 특성에서 다이아몬드상 탄소 패시베시션이 미치는 영향
박용섭, 조상진, 부진효, Park. Y.S., Cho. S.J., Boo. J.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2012, Vol.21 No.4 193-198 (6 pages)
플라즈마화학기상증착 장치를 이용하여 플라즈마 폴리머와 다이아몬드상 탄소(diamond-like carbon, DLC) 박막을 합성하였다. 플라즈마 폴리머 박막 위에 패시베이션 층으로 DLC 박막을 두께에 따라 합성하였고, DLC/플라즈마 폴리머 박막의 구조적, 물리적, 전기적 특성들을 고찰하였다. 기존 플라즈마 폴리머는 누설 전류 특성이 좋고 낮은 유전상수 값을 가지고 있다. 그러나 실제 반도체 공정에 적용되기 위해서는 물리적 특성도 만족되어야 하기 때문에 플라즈마 폴리머 박막 위에 DLC 패시베이션을 적용하여 플라즈마 폴리머의... -
$N_2O$ 플라즈마 열처리에 의한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화
김윤해, 이석규, 김선우, 김형준, Kim. Yoon-Hae, Lee. Seok-Kiu, Kim. Sun-Oo, Kim. Hyeong-Joon 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1998, Vol.8 No.4 317-322 (6 pages)
플라즈마 화학기상증착법에 의해 증착된 저유전율 SiOF박막의 물성 안정화를 위하여 증착후 $N_2O$플라즈마로 열처리함으로써 그 특성을 평가하였다. SiOF박막은 대기방치 및 열처리에 불안정한 성질을 가진다. SiOF 박막은 박막내의 F-Si-F 결합의 존재 때문에 흡습현상이 발생하며, 박막내의 F함량이 증가함에 따라 수분 흡수가 증가한다. 또한 열처리를 거치면서 F이 탈착되어 박막내의 F함량이 감소한다. $N_2O$플라즈마 열처리는 표면에 얇은 SiON층을 형성시킴으로써 박막을 안정화시키는데 효과적이었다. 그러나 장시간의 N/sun... -
전해응집법에 의한 불화수소 함유 워터젯 플라즈마 폐수처리
이채홍, 전영남, Lee. Chae Hong, Chun. Young Nam 대한환경공학회 대한환경공학회지 7 Pages
대한환경공학회 대한환경공학회지 2012, Vol.34 No.10 702-708 (7 pages)
사불화탄소($CF_4$)는 반도체 제조공정에서 에칭과 화학기상증착(CVD)에서 사용되어온 가스이다. $CF_4$는 적외선을 강하게 흡수하고 대기 중 잔류시간이 길어서 지구온난화에 영향을 미치기 때문에 고효율의 분해가 필요하다. 또한 불화수소를 포함한 폐수는 지하수 오염의 원인이 된다. 과도한 불소를 포함한 물을 장기간 섭취는 치아와 뼈에 문제를 야기한다. 워터젯 플라즈마를 이용하여 $CF_4$를 분해 후 생성되는 부산물 중 HF에 의하여 폐수가 생성된다. 이 폐수를 알루미늄 전극을 사용한 전해응집을 이용하여 폐수 중 HF를 제거... -
고주파 유도결합 열플라즈마를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 합성
남준석, 서준호 한국열환경공학회 열환경공학 8 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2012, 제 9권 1호 2 9-16 (8 pages)
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산소플라즈마와 급속열처리에 의해 제조된 티타니아 박막의 휴믹산 제거
장준원, 박재우, Jang. Jun-Won, Park. Jae-Woo 한국지하수토양환경학회 지하수토양환경 7 Pages
한국지하수토양환경학회 지하수토양환경 2007, Vol.12 No.3 29-35 (7 pages)
플라즈마로 티타늄을 산화하고 급속열처리하여 티타니아 광촉매 박막을 제조하고 휴믹산 제거실험을 수행하였다. 플라즈마 화학기상증착장치에서의 산소플라즈마는 티타늄 표면을 산화시킴으로써 광촉매 피막을 생성하게 된다. 증착조건에서 RF power는 최대 500 W 이하에서 100 W, 150 W, 300 W, 처리시간은 5분, 10분에서 조절되었다. 박막의 특성은 XPS와 XRD로 측정하였다. 실험으로서 우리는 박막이 높은 성능을 나타내는 최적을 조건을 찾았다. 또한 제조된 박막의 경우 기존 Thermal spray Titania film에 비해 2배정도 우수하였고... -
PECVD법으로 구리 막 위에 증착된 실리콘 박막의 이차전지 음전극으로서의 전기화학적 특성
심흥택, 전법주, 변동진, 이중기, Shim. Heung-Taek, Jeon. Bup-Ju, Byun. Dongjin, Lee. Joong Kee 한국전기화학회 전기화학회지 6 Pages
한국전기화학회 전기화학회지 2004, Vol.7 No.4 173-178 (6 pages)
플라즈마 화학 기상 증착법으로 구리 막$(foil,;35{mu}m)$표면 위에 $SiH_4$와 Ar혼합가스를 공급하여 실리콘 박막을 증착 한 후 리튬 이온전지의 음극으로 활용하였다. 증착 온도에 따라 비정질 실리콘 박막과 copper silicide박막 형태의 다른 두 종류의 실리콘 박막 구조가 형성되는 것이 관찰되었다. $200^{circ}C$ 이하의 온도에서는 비정질 실리콘 박막이 증착되었고, $400^{circ}C$ 이상의 온도에서는 실리콘 라디칼과 확산된 구리 이온의 반응에 의한 그래뉼러 형태의 copper silicide박막이 형성되었다. 비정질 실리콘 박막은... -
유도 열플라즈마를 이용한 카본나노시트 합성
이승용, 고상민, 구상만, 황광택, 한규성, 김진호, Lee. Seung-Yong, Ko. Sang-Min, Koo. Sang-Man, Hwang. Kwang-Taek, Han. Kyu-Sung, Kim. Jin-Ho 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 6 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2014, Vol.24 No.5 207-212 (6 pages)
2차원 흑연구조를 갖는 카본나노시트는 큰 비표면적과 우수한 전기적, 화학적 및 기계적 물성으로 인하여 미래소재로 각광받고 있다. 경제적이고 쉬운 카본나노시트의 양산공정개발을 위해 본 연구에서는 메테인($CH_4$)과 프로페인($C_3H_8$) 가스를 이용한 유도 열플라즈마 공정을 통해 기상 합성하여 카본나노시트 분말을 합성하였다. 유도 열플라즈마를 이용한 카본나노시트 합성은 촉매나 증착공정 없이 진행되었으며, 합성된 카본나노시트의 물성을 TEM, Raman, XRD, BET로 분석하였다. 메테인과 프로페인으로부터 합성된 카본... -
산소플라즈마 에칭공정을 응용한 탄소나노튜브 Array 길이 제어 연구
송유진, 강성준, Song. Yoo-Jin, Kang. Seong-Jun 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.6 488-493 (6 pages)
있어, 탄소나노튜브의 전기적 특성을 결정짓는 길이와 직경을 제어하는 일은 매우 중요하다. 본 연구에서는 비교적 간단한 공정을 통하여 탄소나노튜브의 길이를 제어하는 기술을 개발 하였다. 기판에 평행하게 정렬된 탄소나노튜브 Array 박막을 열화학기상증착법을 이용하여 성장 시킨 후, 간단한 포토 리소그래피 공정과 산소 플라즈마 에칭 공정을 통하여 균일한 길이의 탄소나노튜브 Array를 기판위에 형성하였다. 본 연구를 통하여 개발된 균일한 길이의 고밀도 탄소나노튜브 Array는 대면적의 나노전자 소자뿐만 아니라, 태양전지,...
