태양 전지의 효율을 개선하기 위한 여러 가지 방법중 실리콘 표면을 이방성 부식하여 태양광의 수광 효율을 증대시켜 태양 전지의 효율을 높이는 texturization방법을 Al-MIS 태양 전지에 적용하였다. MIS 태양 전지를 제조하기 위해 질소 분위기에서 행한 산화 조건은 500℃에서 20분간이 가장 좋았으며, 알루미늄 장벽금속(barrier metal)의 두께는 약 100Å이 적합하였다. Texturization 용액으로서 hydratinehydrate와 pyrocathecol을 혼합하여 사용하였다. 실리콘 표면을 texturization함으로써 texturization하지 않은 MIS태양 전지에 비해 100mW/㎠의 조명하에서 1.2∼1.6%의 효율을 개선할 수 있었다.
Texturization technique has been employed to improve the efficiency of Al-MIS solar cells. The best condition for the formation of insulating layer was 50$0^{circ}C$ in N2 ambient for 20 minutes, and the appropriate thickness of the Al barrier metal layer was about 100$AA$ For the texturization of the face a mixture of hydrazinehydrate and pyrocathecol was used. The efficiency improvement of the texturized cells ranged from 1.2 to 1.6% under 100mW/$ extrm{cm}^2$ illumination.
