- 반도체기술 개발을 위한 XPS의 이용
- ㆍ 저자명
- 윤선진,박성주,권오준,Yun. Seon-Jin,Park. Seong-Ju,Kwon. Oh-Joon
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|10권 3호|pp.230-241 (12 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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XPS는 표면과 계면의 구성원소 및 화학적 결합상태를 밝혀내는 기술로서 반도체 소자제조의 주된 단위인 박막의 연구에 중요하게 이용되고 있다. 본 고에서는 XPS의 분석원리, 장비의 구성 등에 대해 설명하고 XPS의 특성을 잘 활용한 반도체 표면연구에의 응용사례를 소개한다. .