- 분광 엘립소메츠리에 의한 반도체소재의 특성분석
- ㆍ 저자명
- 김상기,이원형,권오준,Kim. Sang-Gi,Lee. Won-Hyeong,Gwon. O-Jun
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|10권 3호|pp.221-229 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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반도체 소자의 성능과 신뢰성은 소자제조시 사용한 소재의 특성에 의존하므로 소재의 특성을 정확히 규명하는 일은 대단히 중요하다. 소재 특성화 방법중 분광 엘립소메츠리에 의한 기본소재 및 유전체 박막의 광학적 성질을 비접촉, 비파괴적, in-situ 상태에서 결정할 수 있다. 본 고에서는 소재의 광학적 특성화를 위해 분광 엘립소메츠리의 기본원리 및 측정방법, 반도체 소재 특성화의 응용 등에 대해 상세히 논의하였다.