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Sol-Gel법에 의한 $TiO_2$ 박막의 제작과 전기적 특성에 관한 연구
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  • Sol-Gel법에 의한 $TiO_2$ 박막의 제작과 전기적 특성에 관한 연구
  • A study on the fabrication and the electrical properties of TiO$_{2}$ thin films by Sol-Gel method
저자명
유도현,강대하,이능현,김진수,이덕출
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1994년|7권 4호|pp.325-330 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, $TiO_2$ thin films were fabricated by Sol-Gel method and their electrical conductivity and humidity sensing properties have been investigated. The structure of Sol can be changed by controlling for hydrolysis condition. The uniform surface of thin films was confirmed by SEM. The electrical conductivity of thin films decreased with increasing heat treatment temperature. The humidity sensing properties of thin films were good in high humidity and low frequency regions.