- SDB 웨이퍼를 이용한 절대압 실리콘 압력센서의 제조
- ㆍ 저자명
- 이창준,강신원,최시영,Lee. Chang-Jun,Kang. Shin-Won,Choi. Sie-Young
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1995년|4권 1호|pp.29-34 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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SDB웨이퍼를 이용하여 절대압을 감지할 수 있는 압저항형 실리콘 다이아프램 압력센서를 제조하였다. 제조된 센서는 브릿지 형태로 연결된 4개의 압저항과 인가되는 압력에 대한 기계적인 증폭기 역할을 할 수 있는 다이아프램으로 구성되어 있다. 다이아프램 공극(cavity)을 낮은 진공상태로 만들기 위해 실리콘 다이아프램과 Pyrex 7740유리를 0.02mmHg, $400^{circ}C$에서 정전 접합하였다. 제조된 센서의 감도와 오프셋 전압은 각각 $30.4{mu}V/VmmHg$, 30.6mV였다.
The absolute silicon pressure sensors are fabricated using SDB(silicon direct bonded) wafer. The fabricated pressure sensors consist of four bridge type piezoresistances and a diaphragm which plays a role of mechanic amplifier to supplying pressure. In order to make the diaphragm cavity in low vaccum condition, we anodically bonded Si diaphragm with pyrex 7740 glass in 0.02mmHg, at $400^{circ}C$. The sensitivity and offset voltage of the fabricated sensors were $30.4{mu}V/VmmHg$ and 30.6mV, respectively.