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변형된 SSD법에 의한 InP결정 성장
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  • 변형된 SSD법에 의한 InP결정 성장
  • InP crystal growth by modified SSD method
저자명
송복식,정성훈,문동찬,김선태
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1995년|8권 3호|pp.291-297 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The InP crystals have been grown by modified synthesis solute diffusion (SSD) method and its properties have been investigated. The crystals have been grown by lowering the crucible quartz for growth in the furnace and crystal growth rate is 1.8mm/day. The lattice constant a. of the grown crystals is 5.867.angs.. Etch pits density along growth direction of crystal changes from 3.0*10.sup 3/cm$^$-2/ of first freeze part to 6.7*10$^$4/cm$^$-2/ of last freeze part and the radial direction of wafer shows nearly uniform distribution. The resistivity and the carrier concentration of the grown crystals are 1.43*10$^$-1/.ohm.-cm, 7.7*10$^$15/cm$^$-3/ at room temperature, respectively. In the photolurninescence at 10K, the radiation transitions are observed by the near band edge recombination, a pair recombination due to Si donor - Zn acceptor and its phonon replica in the InP. The activation energy by Zn diffusion in undoped n-InP crystals is 1.22eV.