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아황산금나트륨염을 이용한 Au 범프용 금도금층의 표면형상 및 우선적 결정 성장방향
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  • 아황산금나트륨염을 이용한 Au 범프용 금도금층의 표면형상 및 우선적 결정 성장방향
저자명
김인수,양성훈,박종완,Kim. In-Su,Yang. Seong-Hun,Park. Jong-Wan
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
1995년|5권 6호|pp.673-681 (9 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

아황산금나트륨염을 이용하여 형성된 약 20$mu extrm{m}$ 금도금층의 표면형상 및 우선적 결정 성장 방향에 대하여 전류밀도, 온도, 농도, pH, 교만속도, 금이온농도가 미치는 영향에 대하여 연구하였다. 표면형상은 cathode 근처의 금이온농도가 증가하는 조건[전류밀도(13.0mA/$ extrm{cm}^2$2$longrightarrow$4.6mA/$ extrm{cm}^2$)], 온도 (3$0^{circ}C$$longrightarrow$6$0^{circ}C$), pH(12.0$longrightarrow$9.0), 교반효과(Orpm$longrightarrow$3200rpm), 금이온농도(10g /1$longrightarrow$l4g/1)으로 갈수록 porous한 조직에서 미세한 조직으로의 변화가 관찰되었다. X선분석에 의하면 금도금층의 결정성장의 주방향은 표면형상과 밀접한 관계를 나타내었으며 표면형상이 미세화되는 조건인 전류밀도(13.0$longrightarrow$14.6mA/$ extrm{cm}^2$), pH(12.0$longrightarrow$9.0)는 감소 할수록, 온도(3$0^{circ}C$$longrightarrow$6$0^{circ}C$), 교반속도(0rPm$longrightarrow$3200rpm), 금이온농도(10g/1$longrightarrow$g/1)]는 증가 할수록 결정성장의 주회절피크는 (111)에서 (220)으로 그 성장면이 변하고 있음이 조사되었다.

기타언어초록

Surface morphology and preferred orientation of 20${mu}{ extrm}{m}$ gold electrodeposit formed from aqueous solution of the sodium gold sulfite were studied in terms of current density, plating temperature and Au concentration. As the current density changed from 13.0mA/$ extrm{cm}^2$ to 4.6mA/$ extrm{cm}^2$, the solution temperature from 3$0^{circ}C$ to 6$0^{circ}C$, pH from 12.0 to 9.0, agitation speed from 0 rpm to 3200rpm and Au concentration from 10g/1 to 14 g/1, local Au concentration near the cathodic surface increased. With increasing the Au concentration, the surface morphology chanced from porous structure to fine-grained structure. Furthermore, it was observed that the preferred orentation of the Au layer changed from (111) to (220) upon the same variation In the Au concentration. The surface morphology and the preferred orientation of the Au layer were found to be closely related to each other.