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반도체 공정 시뮬레이션을 위한 통합 TCAD 개발
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저자명
윤상호,이경일,공성원,이재희,원태영
간행물명
電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A
권/호정보
1996년|5호|pp.108-116 (9 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A semiconductor process imulator operated in windows$^{TM}$ environment has been developed. two-dimensional process simulation in personal computer has been enabled due to the improvement of CPU speed and the efficient use of memory. The process simulator in this paper is capable of calculating diffusion, oxidation, ion implantation, etching and deposition in two-dimensional manner. In addition, graphic-user-friendly editor, parser, and multi-dimensional graphical routine is also available in the devloped simulator.