- 500 Hz급 엑시머레이저의 반복동작특성
- ㆍ 저자명
- 박홍진,이주희
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|7권 3호|pp.232-237 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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대기오염 원격측정용 LIDAR의 레이저광으로 사용하기 위해 반복율 500Hz급 엑시머 에리저를 개발하고 이의 고반복 에이저 출력특성, 레이저 가스의 유로구조와 CR특성을 조사하였다. 레이저 장치는 유선형의 가스유로, 주전극 직렬 UV 예비전리방식 등의 방법을 사용하고 컴팩트한 구조로 제작하여 가스 실용적을 10 liter 이하로 소형화하였다. KrF 레이저를 500Hz로 동작할 때의 최대출력은 53watt, 출력변동율은 .+-.6.7%, CR은 2.3, 방전체적은 2.0(H)*1.2(W)*56(L)=134$cm^{3}$ 이다. 이때 초기 출력에너지의 50%까지 출력이 감소할 때의 레이저가스의 수명은 3*$10^{6}$ shots이다.
A 500 Hz repetition rate excimer laser was developed as light source for pollution lidar. In this paper, the high repetitive output characteristics, the gas flow loop structure, and CR(clearing ratio) characteristics were investigated. Our laser system was constructed compact structure with a streamline gas flow loop and UV preionization. The real gas volume of laser is 10 liter. At 500 Hz repetitive operation, we have obtained average power of 53 watt with KrF laser gas. The variation of laser output, CR, and active volume are $pm$6.7%, 2.3, and 2.0(H)$ imes$1.2(W)$ imes$56(L)=134 ㎤, respectively. Laser output power is declined to half at 3$ imes$$10^6$ shots.