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레이저 어브레이션법에 의해 제조된 산화물 박막의 분위기가스 의존성
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  • 레이저 어브레이션법에 의해 제조된 산화물 박막의 분위기가스 의존성
  • Dependence of ambient gas of oxide films fabricated by laser ablation method
저자명
최충석,이덕출
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1996년|9권 4호|pp.357-363 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The superconducting properties of YBa$_{2}$Cu$_{3}$$O_{7-x}$(YBaCuO) thin films prepared by laser ablation have been investigated. The x-ray diffraction patterns of the films were substantially different from one another. The Y and Ba oxides are formed by the collisions with oxygen molecules. On the other hand, the Cu oxide is mainly formed at initial stage of the laser irradiation. The YBaCuO films manufactured on MgO(100) substrate were indicated T$_{c}$(zero)=90 K, T$_{c}$(onset)=92 K, and J$_{c}$=3.5*10$^{5}$ A/cm$^{2}$(at 77.3K). The optimum conditions were found to be a substrate temperature of 710.deg. C, an energy density of 2 J/cm$^{2}$, and a target-substrate distance of 60mm in an oxygen partial pressure of 200 mTorr.0 mTorr.