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IMPROVEMENT OF DISTRIBUTION OF COERCIVITY IN CO-CR FILMS DEPOSSSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING
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  • IMPROVEMENT OF DISTRIBUTION OF COERCIVITY IN CO-CR FILMS DEPOSSSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING
  • IMPROVEMENT OF DISTRIBUTION OF COERCIVITY IN CO-CR FILMS DEPOSSSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING
저자명
Takayama. Seiryu,Nakagawa. Shigeki,Kim. Kyung-Hwan,Naoe. Masahiko
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1996년|29권 6호|pp.644-647 (4 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The distribution of coercivity in the thickness direction were investigated by using Kerr hysteresis loop tracer for the Co-Cr films deposited by Facing Targets Sputtering apparatus. It was found that the difference between the coercivities of surface layer and initial growth layer H$_c$$ot$(S)-H$_c$$ot$(I) correlated strongly with $Delta$H$_o$, shich represents the degree of distribution of coercivity. Furthermore, the Cr content was varied in order to improve the coercivity of imitial growth layer H$_c$$ot$(I) and distribution of coercivity. H$_c$$ot$(I) took a maximum value of 750 Oe and the distribution of coercivity became sharper at the Cr content of 25at. %.