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SIMULTANEOUS DETERMINATION OF OPTICAL CONSTANTS AND DEPTH-PROFILE OF SPUTTERED AMORPHOUS TiO$_2$ THIN FILMS
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  • SIMULTANEOUS DETERMINATION OF OPTICAL CONSTANTS AND DEPTH-PROFILE OF SPUTTERED AMORPHOUS TiO$_2$ THIN FILMS
저자명
Rhee. Sung-Gyu,Lee. Soon-Il,Oh. Soo-Ghee
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1996년|29권 6호|pp.654-659 (6 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Amorphous $TiO_2$ thin films were deposited on silicon substrates by the RF magnetron sputtering under various conditions, and studied by the spectroscopic ellipsometry (SE). To determine the optical constants as a function of photon energy and also to depth-profile the as-deposited $TiO_2$ thin films, we analyzed the ellipsometric spectra using the effective medium approximation and the dispersion equations. Especially, we improved the modeling accuracy by selectively using either the Sellmeier or the Forouhi and Bloomer dispersion equation in different energy regions.