- HWE 방법으로 성장한 ZnSe:Cl 박막의 특성
- ㆍ 저자명
- 이경준,전경남,강한솔,정원기,두하영,이춘호
- ㆍ 간행물명
- 한국결정성장학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|7권 2호|pp.271-275 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정성장학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
HWE방법으로 GaAs 기관위에 Cl이 첨가된 ZnSe 박막을 성장하였다. 성장된 박막의 표면 상태는 경면이 있었으며 좋은 결정성과 낮은 비저항 n 형 전도성을 나타내었다. 성장된 박막의 운반자 농도는 $10^{16}Cm{-3}$ 정도였으며 비저항값은 10$\Omega$cdotcm였다. 실온에서 청색 발광을 하는 photoluminescence를 나타내었다. 나타내었다.
We have successfully grown Cl-doped ZnSe epitaxial layers on GaAs(100) sub-strates by HWE using $ZnCl_2$ as a doping source. The Cl-doped ZnSe layers showed mirrorlike morphology and good crystallinity. It has been found that the layer exhibited an n-type conduction with low resistivity. The carrier concentration is, obtained about $10^{16} extrm {cm}^{-3}$, where a resistivity reached 10 $Omega extrm {cm}$. The layer with an appropriate doping level exhibited blue photoluminescence at room temperature. The strong blue PL was obtained at the hall mobility of $100^2 extrm {cm}$/Vㆍsec.