- 반도체 제조에 있어서의 품질공학 : 패터닝 공정과 박막형성 공정을 중심으로
- ㆍ 저자명
- 염봉진,김길수,이팔훈,박양길,김성준,Yum. Bong-Jin,Kim. Kil-Soo,Lee. Pal-Hun,Park. Yang-Gil,Kim. Seong-Jun
- ㆍ 간행물명
- 산업공학
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|10권 1호|pp.67-77 (11 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한산업공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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