- RF magnetron reactive sputtering 법으로 제작한 BST 박막의 전기적 및 계면 특성에 관한 연구
- Electrical and interface characteristics of BST thin films grown by RF magnetron reactive sputtering
- ㆍ 저자명
- 강성준,장동훈,유영섭
- ㆍ 간행물명
- 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|5호|pp.33-39 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
