- 등방성 언더컷 식각에 의한 에어-브리지 소자 격리 구조를 갖는 AaGaAs/GaAs HBT의 제작에 관한 연구
- A study of the fabrication of AlGaAs/GaAs HBT with an air-bridge isolation structure induced by isotropic undercut etching
- ㆍ 저자명
- 김연태,이제희,윤상호,권오섭,반용찬,원태영
- ㆍ 간행물명
- 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|5호|pp.40-47 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
