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보상용 브릿지를 이용한 압저항형 압력센서의 온도보상 방법
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  • 보상용 브릿지를 이용한 압저항형 압력센서의 온도보상 방법
  • Temperature compensation method of piezoresistive pressure sensor using compensating bridge
저자명
손원소,이재곤,최시영
간행물명
電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D
권/호정보
1998년|5호|pp.63-68 (6 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The absolute pressure sensor using SDB wafer has been fabricated. the structure of the sensor consists of two wheatstone bridges and a diaphragm. One of the two wheatstone bridges is located on the edge of diaphragm, and the other is located on the center of diaphragm. The diaphragm cavity is sealted in vacuum (~10$^{5}$ Torr) to reduce the effect of temperature due to the vapor in the cavity on the sensitivity of pressure sensor. This is the minor method of temperature compensation method. In this experiment the main compensation method is to use the difference of the two bridge offset voltages. The drift of offset voltage with temperature is reduced by using this method so that temperature charcteristics is improved. In this method the temperature effect in the range of 22~100.deg. C was compensated over 80%.