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결정봉 회전 가속화 기법에 의한 초크랄스키 결정 성장
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  • 결정봉 회전 가속화 기법에 의한 초크랄스키 결정 성장
저자명
김승태,최정일,성형진
간행물명
한국결정성장학회지
권/호정보
1998년|8권 1호|pp.18-28 (11 pages)
발행정보
한국결정성장학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

초크랄스키 대류에서의 온도진동 억제에 대한 실험 및 수치해석 연구가 수행되었다. 결정봉 회전 가속화기법을 초크랄스키 성장에 적용시키기 위해 결정봉 회전가속도를($Omega=Omega_0(1+A sin 2{pi}ft/t_p)$)로 변화시켰다. 여기서 A는 가진증율, f는 가진주파수인자를 나타낸다. 제어이전에 나타나는 고유한 온도진동 주기 ($t_p$)를 근거하여, 무차원 혼합대류인자($0.217{leq}Ra/PrRe^2{leq}1.658$)에 온도진동 감소율을 조사하였다. 또한 제어인자 A와 f에 대한 효과를 조사하였다. 용융유동 내의 온도진동 억제 현상을 이해하기 위해 자오면상에 나타나는 온도 및 와도분포가 면밀히 검토되었다.

기타언어초록

A laboratory experiment was made of a control of temperature oscillation in Czochralski convection. Numerical computation was also made to delineate the control of temperature oscillation. The suppression of temperature oscillation was achieved by varying the rotation rate of crystal rod ($Omega=Omega_0(1+A sin 2{pi}ft/t_p)$), where A denotes the amplitude of rotation rate and f the frequency factor. Based on the inherent dimesionless time period of temperature oscillation ($t_p$), the suppression rate of temperature oscillation was characterized by the mixed convection parameter ($0.217{leq}Ra/PrRe^2{leq}1.658$). The optimal values of A and f were also scrutinized. To understand the suppression mechanism of temperature oscillation, the controls of isotherm($ heta$) and equi-vorticity($omega$) were investigated.