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Photoreflectance 측정에 의한 $In_xGa_{1-x}As(0.03leqxleq0.11)$ 에피층의 특성 연구
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  • Photoreflectance 측정에 의한 $In_xGa_{1-x}As(0.03leqxleq0.11)$ 에피층의 특성 연구
저자명
김인수,손정식,이철욱,배인호,임재영,한병국,신영남
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1998년|7권 4호|pp.334-340 (7 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Molecular Beam Epitaxy(MBE)법으로 성장된 $In_xGa_{1-x}As/GaAs$ 에피층에 대해 photoreflectance(PR)실험을 통해 특성을 조사하였다. PR 측정결과 성장된 InxGa1-xAs 에피 층의 띠간격 에너지(E0)신호가 시료의 변형(strain)에 의해 heavy-hole(E0(HH))과 light-hole(E0(LH))로 분리되어 관측되었다. 에피층의 조성과 변형은 각각 시료에서의 Eo(HH) 및 Eo(HH)와 Eo(LH)신호의 에너지 차이를 이용하여 구하였다. 또 160K이하의 온 도에서는 Eo(LH)의 신호가 사라짐을 볼 수 있었다. Franz-Keldysh oscillation(FKO) 피크 로부터 계산되어진 InGaAs/GaAs 계면전장(E)은 In조성의 증가에 따라 $0.75{ imes}10^5$V/cm에서 $2.66{ imes}10^5$V/cm로 증가하였다. In조성이 x=0.09인 시료에 대한 PR신호의 온도의존성 실험에 서 Varshni계수와 Bose-Einstein계수들을 각각 구하였다.

기타언어초록

Photoreflectance (PR) measurents have been performed on $In_xGa_{1-x}As/GaAs$ grown by molecular beam epitaxy (MBE). Bandgap $(E_0)$ of $In_xGa_{1-x}As$ epilayer measured from PR was separated as heavy-hole $(E_0(HH))$ and light-hole $(E_0(LH))$ by strain effect. The compositions and the strains of epilayer were obtained from the energy value of $E_0(HH)$ and from energy difference of $E_0(HH)$ and $E_0(LH)$, respectively. In addition, the PR signal of $E_0(LH)$ was diminished below 160 K. The interface electric field (E) of InGaAs/GaAs was increased from $0.75{ imes}10^5$ V/cm to $2.66{ imes}10^5$ V/cm as In composition increased, which was calculated from Franz-Keldysh oscillation (FKO) peaks. As the temperature dependence of the PR signal at x=0.09 sample, we obtained Varshni and Bose-Einstein coefficients.