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$alpha$-Fe$_2$O$_3$ 박막 센서의 환원성 가스감지특성
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  • $alpha$-Fe$_2$O$_3$ 박막 센서의 환원성 가스감지특성
저자명
이은태,장건익,이덕동
간행물명
요업학회지
권/호정보
1999년|36권 5호|pp.465-470 (6 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Sensing properties of $alpha$-Fe2O3 thin film to reducing gases such as CHx and CO were systematically examined after deposition on Al2O3 substrate by PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)technique. Microstructure of deposited $alpha$-Fe2O3 thin film showed the porous island structure. This specimen was annealed at 450, 550, $650^{circ}C$ to enhance the gas sensing properties and investigated in terms of CO and C4H10 concentration from 500ppm to 3,000 ppm at operating temperature of 35$0^{circ}C$ The gas sensitivity(%) to C4H10 measured at the operating temperature of 35$0^{circ}C$ was 98.24 (highest sensitivity) 69.51 to CO and 2% to CH4 respectviely.