- APCVD법에 위해 제조된 $alpha$-$Fa_{2}O_{3}/SnO_{2}$계 박막의 가연성 가스 감지 특성 평가
- ㆍ 저자명
- 심성은,이세훈,최성철
- ㆍ 간행물명
- 한국결정성장학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|10권 2호|pp.105-110 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정성장학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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APCVD(Atrmos phere Pressure Vapor Deposition)법으로 $alpha$-$Fa_{2}O_{3}/SnO_{2}$계 박막 가스센서 소자를 제조하여 열처리(Heat treatment)하였으며, 가연성 가스($CH_4$, $H_2$, LPG)에 대하여 감지 특성(Sensitivity)을 측정하였다. 감지특성 향상을 위해 소자를 $400^{circ}C$, $450^{circ}C$, $500^{circ}C$, $550^{circ}C$, $600^{circ}C$에서 각각 2시간동안 열처리하였으며 $500^{circ}C$에서 2시간 동안 열처리하였을 때 가장 우수한 감응도를 조사하였다. 특히 $H_2$에 대하여 가장 민감한 반응을 보였다. 최적의 작동온도를 찾기 위해 $100^{circ}C$~$300^{circ}C$으로 변화하며 가스 감응도를 조사하였다. 제작된 소자는 작동온도 $175^{circ}C$, 측정 범위 500ppm ~ 10,000ppm에서 $H_2$일 경우 감지도가 62%~76%를 가졌으며, $CH_2$의 경우 16%~58%, LPG의 경우 8%~37%이였다. 또한 열처리한 것과 안한 것의 감응도의 차이는 약 10%이었다. LPG 1,000ppm에서의 장기안정성은 감응도 30%의 값으로 수렴하였다.
The $alpha$-$Fa_{2}O_{3}/SnO_{2}$ thin film gas sensor was fabricated by APCVD and heat treated. The gas sensitivity to flammable gases ($CH_4$, $H_2$, LPG) was measured. This device was to heat treatment at $400^{circ}C$, $450^{circ}C$, $500^{circ}C$, $550^{circ}C$, $600^{circ}C$ for 2 h to enhance the gas sensitivity. The heat treated device at $500^{circ}C$ for 2 h had the best properties and especially it shows high sensitivity to H2 gas. The sensitivity to gases was studied in the temperature range from lOoC to $300^{circ}C$ in order to find the optimum detection temperature. In the range of detection from 500 ppm to 10,000 ppm at $175^{circ}C$ the fabricated device showed that the gas sensitivity to $H_2$ was from 62%~76% and to $CH_4$ was from 16 %~58% and to LPG was from 8%~37 %. The sensitivity difference between heat treated device and as fabricated one was about 10 8 The long-term stability to LPG at 1,000 ppm was converged to sensitivity of 30 %.