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초크랄스키 실리콘 단결정에서 인상 속도의 거시적 변동이 OSF-링 형성에 미치는 영향
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  • 초크랄스키 실리콘 단결정에서 인상 속도의 거시적 변동이 OSF-링 형성에 미치는 영향
  • Effect of a Macroscopic Fluctuation in Pulling Rate on the Formation of OSF-ring Cz-Si SIngle Crystal
저자명
박봉모,서경호,김건
간행물명
한국결정학회지
권/호정보
2000년|11권 3호|pp.157-161 (5 pages)
발행정보
한국결정학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In a 200nm Cz-Si crystal, a macroscopic fluctuation in pulling rate was intentionally introduced an then the variations of the pulling rate and the position of OSF-ring were compared each other. The formation behavior of OSF-ring in the effective volume, defined as the region between the growth interface position -α and the growth interface position +α, is most affected by the pulling rate fluctuation. To understand the correct effect of a macroscopic pulling rate fluctuation, its cumulative effect in the effective volume should be considered. A new concept of modeling for it was proposed here.