- 초크랄스키 실리콘 단결정에서 인상 속도의 거시적 변동이 성장 결함 형성에 미치는 영향
- Effects of a Macroscopic Fluctuation in Pulling Rate on the Formation of Grown-in Defects in Cz-Si Single Crystal
- ㆍ 저자명
- 박봉모,서경호,김건
- ㆍ 간행물명
- 한국결정학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|11권 4호|pp.200-206 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
