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초크랄스키 실리콘 단결정에서 성장 쌍정과 결정 외형의 관계
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  • 초크랄스키 실리콘 단결정에서 성장 쌍정과 결정 외형의 관계
  • Relation Between the Growth Twin and the Morphology of a Czochralski Silicon Single Crystal
저자명
박봉모
간행물명
한국결정학회지
권/호정보
2000년|11권 4호|pp.207-211 (5 pages)
발행정보
한국결정학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In a Czochralski silicon single crystal, the relation between the growth twin and the crystal morphology was investigated. The growth twin is nucleated on the {111} facet planes near the growth ridges. When a {111} growth twin is formed in the <100> silicon crystal, the growth ridge where twin is nucleated will continuous through the twin plane. Other two ridges at the 90。 apart will be displaced about 33° and be deformed to facets. The ridge on the opposite side of twin nucleation will disappear by forming a slight hill. Because the growth ridges of silicon is due to the {111} planes, the variation in the growth ridge formation can be predicted clearly by considering the change of the {111} plane traces in the stereographic projection after twining.