- $(Ba,Sr)TiO_3$박막의 전기적 성질과 누설전류 전도기구
- ㆍ 저자명
- 정용국,임원택,손병근,이창효
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|9권 3호|pp.242-248 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
고주파 스퍼터링 방법으로 증착조건을 변화시키면서 BST 박막을 제작하였다. 증착온도가 높을수록, Ar/O$_2$비가 적을수록 우수한 전기적 특성을 보였다. 누설전류 전도기구를 분석하기 위해 Schottky모델과 modified-Schottky모델을 도입하였다. BST 박막의 누설전류 전도기구는 기존의 Schottky모델이 아니라 modified-Schottky 모델을 따른다는 것을 알았다. Modified-Schottky 모델을 사용하여 광학유전상수 $varepsilon$=4.9, 이동도 $mu$=0.019 $ extrm{cm}^2$/V-s, 그리고 장벽높이 $phi_b$ =0.79 eV를 구하였다.
BST thin films were prepared with various deposition conditions by rf-magnetron sputtering. As substrate temperature increases and Ar/$O_2$ratio decreases, the electrical properties of the BST films improve. The conventional Schottky model and modified-Schottky model were introduced in order to investigate the leakage-current-conduction mechanisms of the deposited films. It was found that the modified-Schottky model better describes the current-conduction mechanism in the BST films than the conventional Schottky model. From the modified-Schottky model, optical dielectric constant ($varepsilon$), electronic drift mobility ($mu$), and barrier height $({phi}_b)are calculated as $varepsilon$=4.9, $mu$=0.019 $ extrm{cm}^2$/V-s, and ${phi}_b=0.79 eV.