- Al2O3 Nano-Coating by Atomic Layer Deposition
- Al2O3 Nano-Coating by Atomic Layer Deposition
- ㆍ 저자명
- Min. Byung-Don,Lee. Jong-Soo,Kim. Sang-Sig
- ㆍ 간행물명
- Transactions on electrical and electronic materials
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|4권 3호|pp.15-18 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
