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UV 성형을 통한 마이크로 렌즈 어레이의 제작
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  • UV 성형을 통한 마이크로 렌즈 어레이의 제작
저자명
김석민,임지석,강신일,전병희
간행물명
소성가공
권/호정보
2004년|13권 3호|pp.236-241 (6 pages)
발행정보
한국소성가공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

UV-molded microlens arrays with high replication quality were fabricated using a parametric design method. It is important to maximize the replication quality, because one can obtain the replicated micro-optical components with desired properties by accurate control of the shape. In the present study, nickel mold inserts for microlens arrays with lenses having diameters between $3mu extrm{m}$ and $230mu extrm{m}$ were fabricated by electroforming process. An UV-molding system was designed and constructed, a simple technique to avoid micro-air bubbles was first suggested, and the effects of the compression pressure and UV-curing dose on the replication quality of UV-molded microlens arrays with a diameter of $14mu extrm{m}$ were examined experimentally. Finally, geometrical and optical properties of the replicated microlens arrays were measured and analyzed.