- 웨이퍼의 2단 이면공정이 반도체 칩의 휨 강도에 미치는 영향
- ㆍ 저자명
- 이성민,Lee. Seong Min
- ㆍ 간행물명
- 한국재료학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|15권 3호|pp.183-188 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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It was studied in this article how the flexural strength of bare silicon chips is influenced by adopting dual wafer back-lapping process. The experimental results showed that an additional finishing process after the conventional grinding process improves the flexural strength of bare chips by more than 2-fold. In particular, this work showed that the proper removal of the grinding marks$(Ra=0.1;{mu}m)$existing on the wafer back-surface resulting from the grinding process significantly contiributes to the enhancement of chip strength.