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분사 열분해 CVD법에서 분사방식에 따른 YBCO 박막의 결정구조와 미세조직 연구
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  • 분사 열분해 CVD법에서 분사방식에 따른 YBCO 박막의 결정구조와 미세조직 연구
  • Deposition of Epitaxial YBCO Films on $LaAlO_3$(100) Substrate by Spray Pyrolysis Method
저자명
김호진,주진호,홍석관,이선왕,임선원,이희균,홍계원,Kim. Ho-Jin,Joo. Jinho,Hong. Suk-Kwan,Lee. Sun-Wang,Lim. Sun-Weon,Lee. Hee-Gyoun,Hong. Gye-Won
간행물명
Progress in superconductivity
권/호정보
2005년|7권 1호|pp.52-57 (6 pages)
발행정보
한국초전도학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

[ $YBa_{2}Cu_{3}O_y$ ] superconducting films were prepared on $LaAlO_3$(100) single crystal substrate by spray pyrolysis method. The precursor solution was prepared by dissolving nitrate powders in de-ionized water. Both of ultrasonic and concentric nebulizers were used in order to generate fine droplets of precursor solution. C-axis oriented films were obtained at deposition temperature of $750~850^{circ}C$ and working pressure of 100 Torr and 500 Torr. In case of ultrasonic nebulizer, films showed rough and porous surface morphology due to formation of enormous droplets, while smooth and dense films were obtained for concentric nebulizer. A transport $J_c$ value of $0.43;MA/cm^2$ at 77 K and self field was achieved on $LaAlO_3$(100) single crystal substrate.