- Study on target erosion in rocking magnet sputtering system
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- ㆍ 저자명
- Lee. Do-Sun,Kwon. Ui-Hui,Lee. Won-Jong
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|14권 4호|pp.245-251 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
