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준귀금속 전이원소, Pt, Pd를 이용한 p-InGaAs의 오믹 접촉저항 특성 연구
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  • 준귀금속 전이원소, Pt, Pd를 이용한 p-InGaAs의 오믹 접촉저항 특성 연구
저자명
박영산,류상완,유준상,김효진,김선훈,김진혁,Park. Young-San,Ryu. Sang-Wan,Yu. Jun-Sang,Kim. Hyo-Jin,Kim. Sun-Hun,Kim. Jin-Hyeok
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2006년|16권 10호|pp.629-632 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Electrical characteristics of Pt/Ti/Pt/Au and Pd/Zn/Pd/Au contacts to p-type InGaAs grown on an InP substrate have been characterized as a function of the doping concentration and the annealing temperature. The Pt/Ti/Pt/Au contacts produced the specific contact resistance as low as $2.3{ imes}10^{-6}{Omega}{cdot}cm^2$, when heat-treated at an annealing temperature of $400^{circ}C$. Comparison of the Pt/Ti/Pt/Au and Ti/Pt/Au contacts showed that the first Pt layer plays an important role in reducing the contact resistivity probably by lowering energy barrier at the metal-semiconductor interface. For the Pd/Zn/Pd/Au contacts, the contact resistivity remained virtually unchanged with increasing annealing temperature. The specific contact resistivity as low as $4.7{ imes}10^{-6}{Omega}{cdot}cm^2$ was obtained. The results indicate that the Pt/Ti/Pt/Au and Pd/Zn/Pd/Au schemes could be potentially important for the fabrication of InP-based optoelectronic devices, such as photodetector and optical modulator.