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Highly Manufacturable 65nm McFET (Multi-channel Field Effect Transistor) SRAM Cell with Extremely High Performance
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  • Highly Manufacturable 65nm McFET (Multi-channel Field Effect Transistor) SRAM Cell with Extremely High Performance
  • Highly Manufacturable 65nm McFET (Multi-channel Field Effect Transistor) SRAM Cell with Extremely High Performance
저자명
Kim. Sung-Min,Yoon. Eun-Jung,Kim. Min-Sang,Li. Ming,Oh. Chang-Woo,Lee. Sung-Young,Yeo. Kyoung-Hwan,Kim. Sung-Hwan,Choe. Dong-Uk,
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2006년|6권 1호|pp.22-29 (8 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We demonstrate highly manufacturable Multi-channel Field Effect Transistor (McFET) on bulk Si wafer. McFET shows excellent transistor characteristics, such as $5{sim}6 times higher drive current than planar MOSFET, ideal subthreshold swing, low drain induced barrier lowering (DIBL) without pocket implantation and negligible body bias dependency, maintaining the same source/drain resistance as that of a planar transistor due to the unique feature of McFET. And suitable threshold voltage ($V_T$) for SRAM operation and high static noise margin (SNM) are achieved by using TiN metal gate electrode.