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나노 박막을 이용한 듀얼 $SnO_2$ 마이크로 가스센서 어레이
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  • 나노 박막을 이용한 듀얼 $SnO_2$ 마이크로 가스센서 어레이
저자명
정완영,Chung. Wan-Young
간행물명
한국해양정보통신학회논문지
권/호정보
2006년|10권 9호|pp.1641-1647 (7 pages)
발행정보
한국해양정보통신학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

나노입자 크기를 가진 얇은 $SnO_2$ 박막을 이용하여 CO 및 $H_2S$에 대한 우수한 감도를 가지는 복합 마이크로 가스센서 어레이를 제작하였다. 나노입자의 박막을 만들기 위해서 약 $2500{AA}$ 두께의 $SnO_2,;SnO_2(+Pt),;SnO_2(+CuO)$ 막을 셰도우마스크를 사용하여 형성 한 후, 이를 $600{sim}800^{circ}C$의 온도에서 산화하므로서 나노입자의 $SnO_2$ 모물질의 가스감지 박막을 형성하였다. 실리콘 기판의 마이크로센서의 형태로 제작된 $SnO_2(Pt)$ 및 $SnO_2(+CuO)$ 가스센서는 각각 CO 및 $H_2S$ 가스에 대한 매우 우수한 감도를 나타내는 것을 확인하였다.

기타언어초록

A dual micro gas sensor way for detecting reducing gas and bad order was fabricated using nano sized $SnO_2$ thin film fabrication method. To make nano-sized thin gas sensitive $SnO_2$ thin rilm, thin tin metal layer $2500{AA}$ thick was oxidized between 600 and $800^{circ}C$ by thermal oxidation. The gas sensing layers such as $SnO_2,;SnO_2(+Pt);and;SnO_2(+CuO)$ were patterned by metal shadow mask for simple fabrication process on the silicon substrate. The micro gas sensors with $SnO_2(Pt)$ and $SnO_2(+CuO)$ showed good selectivity to CO gas among reducing gases and good sensitivity to $H_2S$ that is main component of bad odor, separately.