- 축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
- ㆍ 저자명
- 김용일,윤남식,Kim. Y.I.,Yoon. N.S.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2008년|17권 5호|pp.400-407 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 연구에서는 축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성을 계산하였다. 1차원 유체 방정식을 기반으로 축전 전기장과 전도 전류 밀도의 axial 방향 공간 의존성을 계산한 후, radial 방향으로는 맥스웰 방정식의 해를 ${omega}r/c$에 대한 power series로 전개하여 전자기장의 2차원 공간 의존성을 계산하였다.
In this study, Two dimensional spatial profile of electromagnetic field for capacitively coupled plasma source is calculated. Based on one dimensional fluid equation, spatial profile for the axial direction of electric field and conduction current density is firstly calculated. The two dimensional spatial profile for the electromagnetic field is calculated from solution of Maxwell equation that is expanded to power series for ${omega}r/c$ into the radial direction.