- 나노 구조를 갖는 다공성 실리콘의 광 발광성을 이용한 광학이미지 칩의 제작
- ㆍ 저자명
- 정대혁,Jung. Daehyuk
- ㆍ 간행물명
- 조선자연과학논문집
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|2권 3호|pp.202-206 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 조선대학교 기초과학연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Optical images based on the porous silicon exhibiting photoluminescence have been prepared from an electrochemical etching of n-type silicon wafer (boron-doped,<100> orientation, resistivity $1{sim}10{Omega}-cm$) by using a beam projector. The images remained in the substrate displayed an optical images correlating to the optical pattern and could be useful for optical data storage. This provides the ability to fabricate complex optical encoding in the surface of silicon.