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Rugate 광결정에서 광학띠와 식각전류의 상관관계
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  • Rugate 광결정에서 광학띠와 식각전류의 상관관계
저자명
박종선,김용민,Park. Jongsun,Kim. Yongmin
간행물명
조선자연과학논문집
권/호정보
2009년|2권 3호|pp.207-210 (4 pages)
발행정보
조선대학교 기초과학연구원
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Multiple rugate structures can be etched on a silicon wafer and placed in the same physical location, showing that many sharp spectral lines can be obtained in the optical reflectivity spectrum. Porous silicon samples were prepared by electrochemical etch of heavily doped p-type silicon wafers. The etching solution consisted of a 3:1 volume mixture of aqueous 48% hydrofluoric acid and absolute ethanol. Galvanostatic etch was carried out in a Teflon cell by using a two-electrode configuration with a Pt mesh counterelectrode. A sinusoidal current density waveform varying between 51.5 and $74.6mA/cm^2$ is applied. The anodization current was supplied by a Keithley 2420 high-precision constant current source which is controlled by a computer to allow the formation of PSi multilayer.