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평판디스플레이 응용을 위한 AZO 투명전도막의 전기적, 구조적 및 광학적 특성
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  • 평판디스플레이 응용을 위한 AZO 투명전도막의 전기적, 구조적 및 광학적 특성
저자명
노임준,김성현,박동화,신백균,No. Im-Jun,Kim. Sung-Hyun,Park. Dong-Wha,Shin. Paik-Kyun
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2009년|58권 10호|pp.1976-1981 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Transparent conducting aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin films were deposited on Coming glass substrate using an Gun-type rf magnetron sputtering deposition technology. The AZO thin films were fabricated with an AZO ceramic target (Zn: 98wt.%, $Al_2O_3$: 2wt.%). The AZO thin films were deposited with various growth conditions such as the substrate temperature, oxygen pressure. X -ray diffraction (XRD), UV/visible spectroscope, atomic force microscope (AFM), and Hall effect measurement system were done in order to investigate the properties of the AZO thin films Among the AZO thin films prepared in this study, the one formed at conditions of the substrate temperature $100^{circ}C$, Ar 50 sccm, $O_2$ 5 sccm and working pressure 5 motor showed the best properties of an electrical resistivity of $1.763{ imes}10^{-4};[{Omega}{cdot}cm]$, a carrier concentration of $1.801{ imes}10^{21};[cm^{-3}]$, and a carrier mobility of $19.66;[cm^2/V{cdot}S]$, which indicates that it could be used as a transparent electrode for thin film transistor and flat panel display applications.