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감습특성이 우수한 금속산화물계 습도센서 연구
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  • 감습특성이 우수한 금속산화물계 습도센서 연구
저자명
유도현,You. Do-Hyun
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2009년|58권 10호|pp.1982-1988 (7 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$TiO_2$ films are fabricated using silk printing method. Heat treatment temperature of films is 600[$^{circ}C$]. From the analysis of microstructure, grain size of $TiO_2$ films is about $0.2{sim}0.3[{mu}m]$. Thickness of films is 30.19[${mu}m$] and surface uniformity of films is good. From the analysis of crystalline structure, $TiO_2$ films transform anatase phase to rutile phase. Capacitance of films increases according to increase relative humidity and decrease measuring frequency. Hysteresis characteristics of capacitance and impedance are best at 45[%RH] and 75[%RH] respectively. Impedance of films increases according to decrease measuring frequency.