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반도체 회로 연결선의 신뢰도 해석을 위한 전류 해석 기법
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  • 반도체 회로 연결선의 신뢰도 해석을 위한 전류 해석 기법
저자명
김기영,임재호,김석윤,Kim. Ki-Young,Lim. Jae-Ho,Kim. Seok-Yoon
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2010년|59권 8호|pp.1406-1415 (10 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

As process technology for semiconductor goes beyond the ultra-deep submicrometer regime, interconnect reliability on a chip has become a serious design concern. As process parameters scale, interconnect widths are reduced rapidly while the current flowing through the interconnect does not decrease in a proportional manner. This trend increases current densities in metal interconnects which may lead to poor reliability for electromigration. Hence, it is critical to estimate the current amount passing through the interconnects earlier in semiconductor design stages. The purpose of this paper is to propose a fast yet accurate current estimation technique that can offer not only analysis time equivalent to those offered by the previous approximation methods but also a relatively precise estimation by using closed-form equations. The accuracy of the proposed technique was confirmed to be about 8 times better on average when compared to the previous work.