기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Interfacial effect on thermal conductivity of diamond-like carbon films
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Interfacial effect on thermal conductivity of diamond-like carbon films
  • Interfacial effect on thermal conductivity of diamond-like carbon films
저자명
Kim. Jong-Wook,Yang. Ho-Soon,Jun. Young-Ha,Kim. Kyung-Chun
간행물명
Journal of mechanical science and technology
권/호정보
2010년|24권 7호|pp.1511-1514 (4 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Diamond-like carbon (DLC) has been of interest as a promising coating for protection and insulating layer in micro-electromechanical systems due to high hardness, wear resistance, transparency in IR range, chemical inertness and biocompatibility. The interfacial effect on thermal transport is studied for DLC films deposited on $Al_2O_3$ substrates with an ion gun method. Thermal conductivity of DLC thin films is measured with a $3omega$ method. DLC films show the thickness-dependent thermal conductivity, which is understood with the interfacial thermal resistance between DLC thin film and $Al_2O_3$ substrate. The interfacial thermal resistance and thermal conductivity of bulk DLC are determined with the measured thickness-dependent thermal conductivity of DLC films.