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수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
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  • 수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
  • A Research of Nozzle Spray System of Vertical Type Etcher
저자명
김준영,주강우,윤종국,유선중,김광선,Kim. Jum-Young,Joo. Kang-Wo,Yoon. Jong-Kook,Ryu. Sun-Joong,Kim. Kwang-Sun
간행물명
반도체디스플레이기술학회지
권/호정보
2011년|10권 4호|pp.125-130 (6 pages)
발행정보
한국반도체디스플레이기술학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The recent PCB (Printed Circuit Board) wet etcher has been needed to process pattern within $20{mu}m$ width on a $20{mu}m$ thick board. A previous PCB etcher can be used with multiple points of roller rolls or slips off a board. Also, the damage of the board by contacting the roller increases the friction defects. A vertical type boards transporting process is developed to solve the problems of boards friction and sagging in a horizontal etcher. In this research, CFD (Computational Fluid Dynamics) method is used to design an improved spray nozzle including the critical part of etcher, and establish the design method. Meanwhile, major spray characteristics are expected in diverse nozzle types and variables. Lastly, diverse simulation results are adapted to design an improved nozzle and spray system.