- 수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구
- A Research of Nozzle Spray System of Vertical Type Etcher
- ㆍ 저자명
- 김준영,주강우,윤종국,유선중,김광선,Kim. Jum-Young,Joo. Kang-Wo,Yoon. Jong-Kook,Ryu. Sun-Joong,Kim. Kwang-Sun
- ㆍ 간행물명
- 반도체디스플레이기술학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|10권 4호|pp.125-130 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체디스플레이기술학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
