- 플라즈모닉 레이저 광 나노리소그래피기술
- ㆍ 저자명
- 한재원,정호원,Han. Jae-Won,Jeong. Ho-Won
- ㆍ 간행물명
- 기계저널 : 大韓機械學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|51권 9호|pp.28-32 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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플라즈모닉 레이저광 나노리소그래피 기술은 플라즈몬 현상을 이용하여 레이저 광이 접속된 수십 나노 크기의 작은 빛을 이용하는 차세대 나노리소그래피 기술을 의미하여, 이글에서는 현재 개발되고 있는 레이저 응용 플라즈모닉 리소그래피 기술을 정리하고, 앞으로의 발전 방향을 소개하고자 한다.