- 레이저를 이용한 마이크로 및 나노 가공
- ㆍ 저자명
- 정성호,Jeong. Seong-Ho
- ㆍ 간행물명
- 기계저널 : 大韓機械學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|51권 9호|pp.33-39 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
레이저 마이크로 및 나노 가공은 공기 중에서 고속으로 실행이 가능하여 산업적으로 응용이 가능한 거의 유일한 초미세가공기술로소 반도체, 전자, 마이크로유체소자 등과 같은 분야에 널리 응용되고 있고 기존 기술의 한계를 뛰어 넘는 새로운 기술을 창출하는 데 기여하고 있다.