- Sputter-Redeposition Method for the Fabrication of Automatically Sealed Micro/Nanochannel using FIBs
- Sputter-Redeposition Method for the Fabrication of Automatically Sealed Micro/Nanochannel using FIBs
- ㆍ 저자명
- Kim. Heung-Bae,Hobler. Gerhard,Steiger. Andreas,Lugstein. Alois,Bertagnolli. Emmerich,Platzgummer. Elmar,Loeschner. Hans
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|12권 5호|pp.893-898 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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