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Atomic Force Microscopy using Optical Pickup Head to Measure Cantilever Displacement
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  • Atomic Force Microscopy using Optical Pickup Head to Measure Cantilever Displacement
  • Atomic Force Microscopy using Optical Pickup Head to Measure Cantilever Displacement
저자명
Lee. Sang-Heon,Kim. Hyun-Chul,Jung. Kwang-Suk
간행물명
International journal of precision engineering and manufacturing
권/호정보
2011년|12권 5호|pp.913-915 (3 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We constructed an optical pickup head atomic force microscope (OPH-AFM). The component used to monitor the displacement of the cantilever is made from the optical pickup head of a commercial DVD-ROM. In contrast to previous trials using an optical pickup head, this OPH-AFM provides a direct view of the cantilever and the sample. Therefore, the preliminary imaging process, including placing the laser beam on the cantilever and setting the initial scanning position over the sample, is straightforward. The OPH-AFM showed vertical resolution of below 20 nm, which is close to the maximum performance of the related hardware.