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강건 구조설계에 기반한 미소 공진형 가속도계의 개발
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  • 강건 구조설계에 기반한 미소 공진형 가속도계의 개발
저자명
박우성,부상필,박수영,김도형,송진우,전종업,김준원,Park. U-Sung,Boo. Sang-Pil,Park. Soo-Young,Kim. Do-Hyung,Song. Jin-Woo,Jeon. Jong-Up,Kim. Joon-Won
간행물명
Journal of sensor science and technology
권/호정보
2012년|21권 2호|pp.114-120 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes the design, fabrication and testing of a micromachined resonant accelerometer consisting of a symmetrical pair of proof masses and double-ended tuning fork(DETF) oscillators. Under the external acceleration along the input axis, the proof mass applies forces to the oscillators, which causes a change in their resonant frequency. This frequency change is measured to indicate the applied acceleration. Pivot anchor and leverage mechanisms are adopted in the accelerometer to generate larger force from a proof mass under certain acceleration, which enables increasing its scale factor. Finite element method analyses have been conducted to design the accelerometer and a silicon on insulator(SOI) wafer with a substrate glass wafer was used for fabricating it. The fabricated accelerometer has a scale factor of 188 Hz/g, which is shown to be in agreement with analysis results.